硅基AlN椭圆形IDT-SAW滤波器的设计

• 作者: 刘桥 姚祖铭 王代强 陈雨青
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 滤波器 椭圆形IDT结构 变迹加权 插入损耗 AlN薄膜
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1691-1694
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.4
• 字数: 2127字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.12.013

摘要

在已知的压电材料中,AlN薄膜的声表面波传播速度是最快的。采用硅基AlN薄膜作为压电材料,利用变迹加权的方法来优化设计IDT,改进型啄函数模型为椭圆形结构IDT的建模工具。通过建模仿真并根据仿真结果设计SAW带通滤波器版图,在实验室制作了中心频率为300MHz,带内插损11dB的SAW带通滤波器样品,测试结果表明其仿真结果与试验结果一致性较好,具有实际应用意义。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘桥	贵州大学电子信息学院	111	627	14.0	20.0
3	陈雨青		30	127	5.0	10.0
4	王代强	贵州大学人民武装学院	31	84	5.0	7.0
15	姚祖铭	贵州大学人民武装学院	4	11	2.0	3.0