电感耦合等离子体质谱法测定高纯气体中痕量铝、磷、硼

• 作者: 刘清 刘珂珂 庞海岩 褚艳红 黄海平
• 来源期刊: 河南科学
• 关键词: ICP-MS KED 高纯气体 硼 磷 铝
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: 化学研究
• 页码范围: 1613-1614
• 页数: 2页
• 分类号: O657.63
• 语种: 中文

摘要

研究了用电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)测定高纯气体五氟乙烷中铝、磷、硼等杂质的分析方法.在最佳仪器条件下,通过选择合适的吸收液与测定同位素、采用Sc作为内标以及碰撞池技术,避免了基体效应以及多原子离子对测定的干扰.方法简单、灵敏度高,对高纯气体的质量监控有指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚艳红	河南省科学院高新技术研究中心	19	37	4.0	4.0
2	刘珂珂	河南省科学院高新技术研究中心	6	12	3.0	3.0
3	刘清	河南省科学院高新技术研究中心	4	10	3.0	3.0
4	黄海平		18	192	6.0	13.0
5	庞海岩	河南省科学院高新技术研究中心	3	6	1.0	2.0