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激光偏振干涉纳米定位系统的设计与实验研究
激光偏振干涉纳米定位系统的设计与实验研究
作者:
孙坚
富雅琼
许素安
谢敏
钱飞
陈乐
黄艳岩
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
偏振干涉
定位控制
实验研究
误差分析
摘要:
为适应工业发展和计量界对精密定位提出的越来越高的要求,提出了基于偏振激光干涉技术的纳米定位方法。在该干涉测长系统中,用偏振计取代传统单频激光干涉仪的光电传感器并配置偏振分光元件、起偏镜等,可将干涉仪出射光的干涉条纹相位细分为36000份,使用波长为633 nm的激光源,可将理论测量分辨率提高到10 pm。将完成的偏振干涉测长系统与商用SIOS干涉仪的实验测量结果做了比对。对完成的实验系统的各误差源做了实验研究,得到量化值。经不确定度评估计算,在标准实验室环境条件下,对于微米级行程的位移,其位置测量不确定度小于1.4 nm。该方法可应用于纳米定位的各个领域。
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目标探测
人工雾
激光引信
基于激光干涉仪的运动误差测量系统设计
激光干涉仪
运动误差测量
几何误差避免
激光干涉
轴承滚珠面型误差激光干涉测量系统的研究
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轴承滚珠
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文献信息
篇名
激光偏振干涉纳米定位系统的设计与实验研究
来源期刊
传感技术学报
学科
工学
关键词
偏振干涉
定位控制
实验研究
误差分析
年,卷(期)
2013,(12)
所属期刊栏目
物理类传感器
研究方向
页码范围
1671-1675
页数
5页
分类号
TH741
字数
3162字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1004-1699.2013.12.009
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
陈乐
中国计量学院机电学院
61
357
11.0
15.0
2
孙坚
中国计量学院机电学院
57
278
10.0
13.0
3
富雅琼
中国计量学院机电学院
23
46
4.0
5.0
4
谢敏
中国计量学院机电学院
17
70
6.0
7.0
5
许素安
中国计量学院机电学院
23
117
8.0
10.0
6
钱飞
中国计量学院机电学院
5
33
3.0
5.0
7
黄艳岩
中国计量学院机电学院
22
95
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9.0
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定位控制
实验研究
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研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
传感技术学报
主办单位:
东南大学
中国微米纳米技术学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-1699
CN:
32-1322/TN
开本:
大16开
出版地:
南京市四牌楼2号东南大学
邮发代号:
创刊时间:
1988
语种:
chi
出版文献量(篇)
6772
总下载数(次)
23
总被引数(次)
65542
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传感技术学报2000
传感技术学报1999
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传感技术学报2013年第9期
传感技术学报2013年第8期
传感技术学报2013年第7期
传感技术学报2013年第6期
传感技术学报2013年第5期
传感技术学报2013年第4期
传感技术学报2013年第3期
传感技术学报2013年第2期
传感技术学报2013年第12期
传感技术学报2013年第11期
传感技术学报2013年第10期
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