基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
为适应工业发展和计量界对精密定位提出的越来越高的要求,提出了基于偏振激光干涉技术的纳米定位方法。在该干涉测长系统中,用偏振计取代传统单频激光干涉仪的光电传感器并配置偏振分光元件、起偏镜等,可将干涉仪出射光的干涉条纹相位细分为36000份,使用波长为633 nm的激光源,可将理论测量分辨率提高到10 pm。将完成的偏振干涉测长系统与商用SIOS干涉仪的实验测量结果做了比对。对完成的实验系统的各误差源做了实验研究,得到量化值。经不确定度评估计算,在标准实验室环境条件下,对于微米级行程的位移,其位置测量不确定度小于1.4 nm。该方法可应用于纳米定位的各个领域。
推荐文章
激光多普勒测速系统的消偏振衰落技术研究
相干光学
激光多普勒测速
偏振衰落
数学模型
雾与涂漆目标基于旋转偏振角的激光偏振特性
偏振特性
线偏振度
目标探测
人工雾
激光引信
基于激光干涉仪的运动误差测量系统设计
激光干涉仪
运动误差测量
几何误差避免
激光干涉
轴承滚珠面型误差激光干涉测量系统的研究
相移干涉
轴承滚珠
波面拟合
调整误差
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 激光偏振干涉纳米定位系统的设计与实验研究
来源期刊 传感技术学报 学科 工学
关键词 偏振干涉 定位控制 实验研究 误差分析
年,卷(期) 2013,(12) 所属期刊栏目 物理类传感器
研究方向 页码范围 1671-1675
页数 5页 分类号 TH741
字数 3162字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.12.009
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈乐 中国计量学院机电学院 61 357 11.0 15.0
2 孙坚 中国计量学院机电学院 57 278 10.0 13.0
3 富雅琼 中国计量学院机电学院 23 46 4.0 5.0
4 谢敏 中国计量学院机电学院 17 70 6.0 7.0
5 许素安 中国计量学院机电学院 23 117 8.0 10.0
6 钱飞 中国计量学院机电学院 5 33 3.0 5.0
7 黄艳岩 中国计量学院机电学院 22 95 6.0 9.0
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (87)
共引文献  (80)
参考文献  (13)
节点文献
引证文献  (2)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1988(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1989(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
1992(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
1993(6)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(5)
1994(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1995(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
1996(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
1997(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1998(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1999(3)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(3)
2000(10)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(9)
2001(9)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(9)
2002(7)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(7)
2003(5)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(5)
2004(4)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(3)
2005(12)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(11)
2006(3)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(3)
2007(5)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(3)
2008(5)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(4)
2009(9)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(7)
2010(7)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(6)
2011(3)
  • 参考文献(3)
  • 二级参考文献(0)
2013(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
2016(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2018(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
偏振干涉
定位控制
实验研究
误差分析
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
传感技术学报
月刊
1004-1699
32-1322/TN
大16开
南京市四牌楼2号东南大学
1988
chi
出版文献量(篇)
6772
总下载数(次)
23
总被引数(次)
65542
论文1v1指导