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Influences of Bias Voltage and Target Current on Structure,Microhardness and Friction Coefficient of Multilayered TiA1N/CrN Coatings Synthesized by Cathodic Arc Plasma Deposition
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摘要：
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| 篇名 | Influences of Bias Voltage and Target Current on Structure,Microhardness and Friction Coefficient of Multilayered TiA1N/CrN Coatings Synthesized by Cathodic Arc Plasma Deposition | ||
| 来源期刊 | 等离子体科学和技术（英文版） | 学科 | |
| 关键词 | |||
| 年，卷（期） | 2013,（6） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 582-585 | |
| 页数 | 分类号 | ||
| 字数 | 语种 | 英文 | |
| DOI | 10.1088/1009-0630/15/6/17 | ||
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期刊影响力
等离子体科学和技术(英文版)
主办单位：
中国科学院合肥物质科学研究所
中国力学学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1009-0630
CN：
34-1187/TL
开本：
大16开
出版地：
合肥 中国科学院等离子体物理研究所PST编辑部
邮发代号：
创刊时间：
1999
语种：
eng
出版文献量（篇）
3310
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