衍射光栅机械刻划成槽的预控试验

• 作者: 史国权 张善文 张宝庆 石广丰 蔡洪彬
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射光栅 机械刻划 成槽工艺 预控技术
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1666-1675
• 页数: 10页
• 分类号: TN305|O436.1
• 字数: 4480字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132107.1666

摘要

由于目前机械刻划衍射光栅加工仍依赖操作者经验,故存在成槽质量差、无法预控等问题.本文结合铝薄膜蒸镀工艺现状,采用X射线衍射法(XRD)、扫描电子显微镜法(SEM)及纳米压痕实验揭示不同薄膜样本的微观结构与力学属性,提出了制作衍射光栅的“薄膜分类试刻法”.研究结果表明,光栅刻划过程可近似等效为楔体下压过程,对“低弹性模量类”薄膜,可采用滑移线场进行解析求解并一次试刻成槽;对“弹塑性类”薄膜,可采用有限元模拟实验进行成槽预控.该方法可预先对薄膜甄别分类,用不同的计算方法确定不同种类薄膜的工装参数,进而刻划出近乎完美的槽形;同时减少了试验刻划耗时与浪费,提高了成槽质量与刻划效率;为刻划更加精密的光栅奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张善文	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	20	169	7.0	12.0
2	张宝庆	长春理工大学机电工程学院	30	113	6.0	9.0
3	石广丰	长春理工大学机电工程学院	69	202	6.0	11.0
4	史国权	长春理工大学机电工程学院	88	340	9.0	15.0
5	蔡洪彬	长春理工大学机电工程学院	13	52	4.0	6.0