上海集成电路研发中心多晶硅纳米线场效应管生物芯片开发成功

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芯片开发

场效应管

硅纳米线

研发中心

集成电路

生物芯片

多晶

上海

摘要：

近日,上海集成电路研发中心基于国内12英寸生产线40nm标准CMOST艺平台开发出了最小线宽为10nm的多晶硅纳米线场效应管生物芯片,芯片对miRNA标准样品的检测灵敏度可达1fM,

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篇名	上海集成电路研发中心多晶硅纳米线场效应管生物芯片开发成功
来源期刊	集成电路应用	学科	工学
关键词	芯片开发场效应管硅纳米线研发中心集成电路生物芯片多晶上海
年，卷（期）	2013,（1）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	44
页数	1页	分类号	TN386
字数		语种	中文
DOI