基于PWM控制方式的射频离子源送气系统设计

• 作者: 卜英南 张贤明 李明 雷光玖
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 气压控制 射频离子源 PWM控制方式
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 计算机与控制系统
• 页码范围: 87-90
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 2808字
• 语种: 中文

摘要

针对射频离子源实验对放电室气压精确控制的要求,提出了基于PWM控制方式的送气系统设计方案.结合真空系统的数学方程,利用Matlab-Simulink工具对PWM控制方式的送气过程进行仿真和分析,验证该控制方式的可行性.该送气系统以数字信号控制器为核心控制单元,采用前馈补偿和气压反馈PID控制策略,通过调节PWM占空比控制送气流量,以实现对离子源放电室气压的有效控制.实验结果显示了PWM控制方式能够对气压进行精确控制,基于该控制方式的送气系统能够满足射频离子源放电实验要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷光玖	核工业西南物理研究院聚变科学所	17	69	5.0	7.0
2	卜英南	核工业西南物理研究院聚变科学所	2	8	2.0	2.0
3	张贤明	核工业西南物理研究院聚变科学所	3	4	2.0	2.0
4	李明	核工业西南物理研究院聚变科学所	5	5	2.0	2.0