全自动荧光粉涂覆工艺及设备研究

• 作者: 冷兴龙 刘俊标 刘杰 刘键 吴茹菲 屈芙蓉
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: LED 荧光粉涂覆 真空搅拌除泡装置
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 66-68
• 分类号: TN312.8
• 语种: 中文

摘要

自行设计并搭建了一套全自动荧光粉涂覆系统.针对涂覆工艺,研究了有无真空搅拌除泡装置对荧光粉涂覆效果的影响,结果发现未经真空搅拌除泡处理的荧光粉涂覆层厚度均匀性较差,且涂覆层中有明显的气泡,气泡直径可达1 mm；经过真空搅拌除泡处理后涂覆层厚度均匀性好且涂覆层中无气泡.利用LED光学参数综合测试仪分析了有无真空搅拌除泡装置对LED发光特性的影响,结果发现真空搅拌除泡工艺能明显提升LED光谱色度一致性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘键	中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室	28	152	8.0	11.0
2	刘杰	中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室	218	1905	24.0	36.0
3	刘俊标	中国科学院电工研究所	45	181	8.0	11.0
4	屈芙蓉	中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室	3	3	1.0	1.0
5	吴茹菲	中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室	8	18	3.0	3.0
6	冷兴龙	中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室	3	2	1.0	1.0