基于激光干涉仪与自准直仪的平面镜轮廓高精度测量技术

• 作者: 朱睿 杨平 郭隐彪 高增潔
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉仪 自准直仪 大平面镜二维轮廓 扫描检测
• 年，卷（期）: 2013,（17）
• 所属期刊栏目: 先进光学制造与检测专栏
• 页码范围: 52-58
• 页数: 7页
• 分类号: TH741
• 字数: 4468字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2013.17.052

摘要

基于三组激光干涉光路与一台自准直仪的光学扫描检测方法,开发可用于大尺寸平面镜二维轮廓的高精度测量技术.通过联立线性方程式与最小二乘法结合的计算算法,可得到平面镜二维轮廓的测量结果及整个测量过程的不确定度值.利用建模仿真整个测量过程,分析不同采样点数N下不确定度数值的变化趋势.此外,搭建基于高精度三坐标测量仪平台上的光学检测系统,试验果表明该技术成功实现对100 mm平面镜二维轮廓的测量,并可实现重复性测量精度在士20 nm范围内.通过与Zygo白光干涉系统结果的比较,该检测技术可以实现纳米级别的测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭隐彪	厦门大学物理与机电工程学院	115	781	14.0	20.0
2	朱睿	厦门大学物理与机电工程学院	22	114	6.0	10.0
3	杨平	厦门大学物理与机电工程学院	13	75	4.0	8.0