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面向智能高速机床的高频响加速度计研究
面向智能高速机床的高频响加速度计研究
作者:
刘岩
孙禄
赵玉龙
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
智能高速机床
双桥梁结构
加速度传感器
振动监测
摘要:
针对智能高速机床对高频响、微振动检测的需要,提出并研制了一种基于双桥梁结构的高频响微加速度传感器.利用Ansys静态与模态仿真,分析了双桥梁结构的应力状态和固有频率,一阶固有频率为11.8 kHz,达到了预定的设计要求.结合MEMS湿法刻蚀工艺与硅玻璃键和技术得到传感器样品.静态实验结果表明,双桥梁结构加速度传感器在3V的稳压电源下主轴灵敏度达到了0.264 mV/g,非线性度为0.67%,迟滞为2.69%.动态标定系统测试表明,传感器动态响应频率达到12.46 kHz,满足智能机床主轴在转速达到60 kr/min时的高频响测量要求.
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文献信息
篇名
面向智能高速机床的高频响加速度计研究
来源期刊
振动、测试与诊断
学科
工学
关键词
智能高速机床
双桥梁结构
加速度传感器
振动监测
年,卷(期)
2013,(z1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
157-159
页数
3页
分类号
TP212.1
字数
2400字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
刘岩
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
26
328
10.0
17.0
2
赵玉龙
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
81
540
14.0
19.0
3
孙禄
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
4
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引证文献(2)
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二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
智能高速机床
双桥梁结构
加速度传感器
振动监测
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
振动、测试与诊断
主办单位:
南京航空航天大学
全国高校机械工程测试技术研究会
出版周期:
双月刊
ISSN:
1004-6801
CN:
32-1361/V
开本:
出版地:
南京市御道街29号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
chi
出版文献量(篇)
2937
总下载数(次)
3
总被引数(次)
26426
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