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摘要:
针对智能高速机床对高频响、微振动检测的需要,提出并研制了一种基于双桥梁结构的高频响微加速度传感器.利用Ansys静态与模态仿真,分析了双桥梁结构的应力状态和固有频率,一阶固有频率为11.8 kHz,达到了预定的设计要求.结合MEMS湿法刻蚀工艺与硅玻璃键和技术得到传感器样品.静态实验结果表明,双桥梁结构加速度传感器在3V的稳压电源下主轴灵敏度达到了0.264 mV/g,非线性度为0.67%,迟滞为2.69%.动态标定系统测试表明,传感器动态响应频率达到12.46 kHz,满足智能机床主轴在转速达到60 kr/min时的高频响测量要求.
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文献信息
篇名 面向智能高速机床的高频响加速度计研究
来源期刊 振动、测试与诊断 学科 工学
关键词 智能高速机床 双桥梁结构 加速度传感器 振动监测
年,卷(期) 2013,(z1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 157-159
页数 3页 分类号 TP212.1
字数 2400字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 刘岩 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 26 328 10.0 17.0
2 赵玉龙 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 81 540 14.0 19.0
3 孙禄 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 4 22 3.0 4.0
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研究主题发展历程
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智能高速机床
双桥梁结构
加速度传感器
振动监测
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
振动、测试与诊断
双月刊
1004-6801
32-1361/V
南京市御道街29号
chi
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