Al2O3-Cr多层中高温选择吸收薄膜的研究

• 作者: 弥谦 杭凌侠 潘永强
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 太阳能选择吸收薄膜 电子束热蒸发 吸收率 发射率
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 太阳能利用技术
• 页码范围: 267-270
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2013.03.15

摘要

太阳能选择吸收薄膜是太阳能集热器的关键部分,本文提出基于Al2O3介质和金属Cr的多层结构的选择吸收膜系,首先采用电子束热蒸发在硅基底上沉积了单层Cr薄膜,通过椭偏仪测试并分析了Cr薄膜的光学常数.在此基础上分别设计了Al2O3-Cr四层和六层选择吸收膜系,比较了两种膜系的吸收率和发射率.其次,对六层结构的选择吸收膜系进行了允差分析,给出了最敏感层厚度相对误差为20％时,选择吸收膜的吸收率和发射率.最后,采用电子束热蒸发技术在玻璃基底上制备了六层结构的选择吸收膜,测试结果表明,该膜系在常温下的吸收率可以到达0.96,发射率为0.043.并通过计算给出了制备的六层选择吸收膜在100,200,300,400,500℃下的发射率分别为0.045,0.052,0.063,0.071和0.092.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	弥谦	西安工业大学光电工程学院	60	260	9.0	14.0
5	杭凌侠	西安工业大学光电工程学院	93	777	15.0	22.0
9	潘永强	西安工业大学光电工程学院	63	392	11.0	15.0