SPC技术在声体波器件生产过程的应用

• 作者: 吴燕 周勇 晏秋娟 朱昌安 王栋 胡瑛
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 声体波器件 可靠性 统计过程控制(SPC) 工序能力指数(Cpk)
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 声表面波及体声波技术
• 页码范围: 463-466,477
• 页数: 5页
• 分类号: TN12
• 字数: 2387字
• 语种: 中文

摘要

针对高品质声体波微波(MBAW)器件的批量生产问题,研究了MBAW器件平面工艺路线的生产流程,选择蒸发底电极,溅射氧化锌,蒸发上电极及超声键合4个工序,应用统计过程控制(SPC)技术实施控制,确保MBAW器件在稳定受控状态下生产.本项应用不仅使这4个工序的工序能力指数(Cpk)得到提升,且MBAW器件的性能一致性和可靠性也得到明显提高,结果表明,几年来生产的MBAW器件没有再出现使用过程因质量问题的返退.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王栋		14	25	3.0	4.0
2	胡瑛		2	3	1.0	1.0
3	朱昌安		6	6	1.0	2.0
4	晏秋娟		1	1	1.0	1.0
5	周勇		3	2	1.0	1.0
6	吴燕		9	5	1.0	2.0