溅射功率对Mg0.2Zn0.8O∶Al紫外透明导电薄膜结构与性能的影响

• 作者: 杨玲 燕红 王华 许积文 黄竹
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 紫外透明导电薄膜 Mg0.2Zn0.8O∶Al 磁控溅射 溅射功率 光电性能
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 页码范围: 1317-1322
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 3457字
• 语种: 中文

摘要

以自制Mg0.2Zn0.8O∶Al陶瓷为靶材,采用磁控溅射工艺室温条件下在石英玻璃衬底上制备Mg0.2Zn0.8O∶Al紫外透明导电薄膜.研究溅射功率对Mg0.2Zn0.8O∶Al薄膜结构和光电性能的影响.测试结果表明:溅射功率不会明显影响薄膜中的成分及其浓度,并与靶材基本吻合;不同溅射功率下Mg0.2Zn0.8O∶Al薄膜均具有非常好的c轴择优取向生长特性,透光区域均扩展到紫外区域,而且随溅射功率从100W增大到200W,薄膜的晶粒有所增大,结晶程度明显提高,电阻率从50Ω· cm降低到不足1Ω·cm,透光率无明显差别,约为89％,带隙宽度略有减小,光吸收边略向长波方向移动,但溅射功率达到250W以后,薄膜质量有所下降,粗糙度增大,电阻率略有回升,透光率有所降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王华	桂林电子科技大学信息材料广西重点实验室	98	463	13.0	17.0
2	许积文	桂林电子科技大学信息材料广西重点实验室	68	171	6.0	10.0
3	杨玲	桂林电子科技大学信息材料广西重点实验室	35	103	6.0	8.0
4	燕红	郑州铁路职业技术学院公共教学部	21	42	3.0	5.0
5	黄竹	桂林电子科技大学信息材料广西重点实验室	4	5	2.0	2.0