铌酸锂晶片热释电红外探测器设计及性能测试

• 作者: 刘俊 刘岗 李颖 林斯佳 梁庭
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铌酸锂晶片 热释电探测器 红外吸收 电路设计
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 333-337
• 页数: 5页
• 分类号: TH744
• 字数: 3899字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.03.008

摘要

通过红外热释电探测器工作原理的分析,采用合适的半导体加工工艺将铌酸锂晶体母材减薄,并对减薄后铌酸锂晶片进行溅射、镀膜将其制成红外敏感单元.选用CMOS放大器与匹配的电阻、电容组成前置放大电路,对热释电信号进行放大和转换；根据红外光谱吸收原理,在敏感单元前封装了窄带滤光片从而提高了敏感单元选择吸收的性能.将敏感单元、前置放大电路和窄带滤波片三部分封装在一个壳体内,红外探测器制作成功.设计了信号调理电路,对从探测器得到的热释电信号进行二次放大和滤波；搭建了探测器响应测试系统,对探测器的性能进行测试,测试验证了该探测器设计的合理性.