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摘要:
本文使用有限元法模拟氮化铝晶体生长系统的温度场,分析了坩埚的位置、感应线圈的匝间距以及原料与晶体之间的距离对温度场分布的影响.结果表明:坩埚位置主要影响系统中最高温度的位置及温度梯度的大小原料与结晶体之间的距离仅对温度梯度有影响;感应线圈的匝间距则影响加热效率的高低.通过合理优化以上三个条件,可以获得适宜于高品质氮化铝晶体快速制备的理想热场.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 升华法生长氮化铝晶体的热场分析
来源期刊 人工晶体学报 学科 工学
关键词 升华 温度场 氮化铝晶体 有限元
年,卷(期) 2013,(11) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 2275-2279
页数 5页 分类号 O782|TN304.2
字数 1766字 语种 中文
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月刊
1000-985X
11-2637/O7
16开
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
1972
chi
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