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升华法生长氮化铝晶体的热场分析
升华法生长氮化铝晶体的热场分析
作者:
徐百胜
李萌萌
武红磊
郑伟
郑瑞生
闫征
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
升华
温度场
氮化铝晶体
有限元
摘要:
本文使用有限元法模拟氮化铝晶体生长系统的温度场,分析了坩埚的位置、感应线圈的匝间距以及原料与晶体之间的距离对温度场分布的影响.结果表明:坩埚位置主要影响系统中最高温度的位置及温度梯度的大小原料与结晶体之间的距离仅对温度梯度有影响;感应线圈的匝间距则影响加热效率的高低.通过合理优化以上三个条件,可以获得适宜于高品质氮化铝晶体快速制备的理想热场.
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关键词热度
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文献信息
篇名
升华法生长氮化铝晶体的热场分析
来源期刊
人工晶体学报
学科
工学
关键词
升华
温度场
氮化铝晶体
有限元
年,卷(期)
2013,(11)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
2275-2279
页数
5页
分类号
O782|TN304.2
字数
1766字
语种
中文
DOI
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温度场
氮化铝晶体
有限元
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
人工晶体学报
主办单位:
中材人工晶体研究院有限公司
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-985X
CN:
11-2637/O7
开本:
16开
出版地:
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
邮发代号:
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
7423
总下载数(次)
16
总被引数(次)
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