固结磨料研磨蓝宝石衬底的工艺研究

• 作者: 夏磊 左敦稳 朱永伟 李军 李鹏鹏 王建彬
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 固结磨料 研磨 蓝宝石衬底 材料去除率 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 页码范围: 2258-2264
• 页数: 7页
• 分类号: TH161|TG74+1
• 字数: 4506字
• 语种: 中文

摘要

为获得高材料去除率和优表面质量的蓝宝石衬底,采用固结磨料研磨蓝宝石衬底提高加工效率,研究研磨压强、工作台转速、三乙醇胺(TEA)浓度和研磨垫类型四个因素对材料去除率和表面粗糙度的影响,并综合优化获得高材料去除率和优表面质量的工艺参数.结果表明:有图案的研磨垫、研磨压强为100 kPa、工作台转速为120 r/min、三乙醇胺的浓度为5％为最优研磨工艺参数组合,固结磨料研磨蓝宝石的材料去除率为31.1 μm/min,表面粗糙度为0.309 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
2	李军	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	69	660	16.0	22.0
3	朱永伟	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	128	1288	19.0	26.0
4	王建彬	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	12	205	9.0	12.0
5	李鹏鹏	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	3	37	2.0	3.0
6	夏磊	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	4	70	4.0	4.0