纳米SiO2抛光液的制备及在蓝宝石抛光中的应用

• 作者: 侯蕾 刘卫丽 宋志棠 张泽芳 闫未霞
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石 氧化硅 抛光 LED 抛光液
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 页码范围: 88-91
• 页数: 4页
• 分类号: TH117
• 字数: 2305字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2013.07.019

摘要

制备一种纳米氧化硅抛光液，采用扫描电子显微镜、激光粒度仪、颗粒计数仪等对其物性参数进行表征；使用该抛光液对LED蓝宝石衬底进行机械化学抛光，采用轮廓仪、表面缺陷检测设备、原子力显微镜等对抛光后的蓝宝石衬底表面进行表征。结果表明，制备的纳米氧化硅抛光液对LED蓝宝石衬底具有优异的抛光性能，抛光后的表面无划伤、无腐蚀坑，且粗糙度小于0.2 nm。