氨热法生长氮化镓体单晶的工艺与设备

• 作者: 何小玲 周海涛 张昌龙 李东平
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氨热法 氮化镓 工艺 设备
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 2046-2050,2056
• 页数: 6页
• 分类号: O782
• 字数: 4088字
• 语种: 中文

摘要

由于大尺寸氮化镓单晶难以获得,只能用异质衬底来制作氮化镓器件,因此现在的氮化镓基器件的性能指标还远低于其理论值.氢化物外延法、高压熔体法、助熔剂法和氨热法等许多方法已经用做生长氮化镓大尺寸单晶.其中,氨热法易于实现尺寸扩大,有批量化生产低成本氮化镓晶片的潜力.目前有两个问题仍有待解决.首先是设备,如何增大高压釜口径为液氨溶液提供可靠的设备;第二个是生长工艺,如何以较低的成本得到大面积,低缺陷密度的氮化镓.本文简单综述了氨热法生长大尺寸氮化镓晶体进展.主要内容是关注氨热法的设备和生长工艺.最后探讨了氨热法合成氮化镓单晶的发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李东平	中国有色桂林矿产地质研究院有限公司广西超硬材料重点实验室国家特种矿物材料工程技术研究中心	5	4	2.0	2.0
2	周海涛	中国有色桂林矿产地质研究院有限公司广西超硬材料重点实验室国家特种矿物材料工程技术研究中心	3	3	1.0	1.0
3	张昌龙	中国有色桂林矿产地质研究院有限公司广西超硬材料重点实验室国家特种矿物材料工程技术研究中心	7	22	2.0	4.0
4	何小玲	中国有色桂林矿产地质研究院有限公司广西超硬材料重点实验室国家特种矿物材料工程技术研究中心	3	7	2.0	2.0