压电陶瓷微位移器及其驱动电源的研制

• 作者: 梁恒 王永红 王硕 马蛟
• 来源期刊: 实验室研究与探索
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷微位移器 驱动电源 相移
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 仪器设备研制与开发
• 页码范围: 68-71,156
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 字数: 4229字
• 语种: 中文

摘要

针对相移干涉测量系统中微位移的要求,研制了一种新型压电陶瓷微位移器及其驱动电源,该驱动电源采用集成功率运算放大器配合外围器件组成直流放大式结构,能够有效解决输出电压的非线性问题,减少自激现象,提高系统的稳定性.对研制的压电陶瓷微位移器进行了实验标定.经测试,研制的驱动电源具有驱动能力强、线性度好、重复性好等特点.干涉实验验证了研制的压电陶瓷微位移器性能的可靠性和位移的精确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王永红	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	58	365	11.0	15.0
2	王硕	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	30	409	12.0	19.0
3	马蛟	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	2	15	2.0	2.0
4	梁恒	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	3	61	3.0	3.0