一种大量程加速度传感器的性能测试

• 作者: 丁宇凯 周智君 唐军 石云波
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度传感器 大量程 马歇特锤 Hopkinson杆
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 834-837
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2206字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.06.016

摘要

设计的一种大量程加速度传感器敏感单元采用一对双端固支结构,实现硅平面内加速度的测量,通过马歇特锤冲击测试试验和Hopkinson杆激光干涉冲击测试,分别标定了传感器的灵敏度和动态响应,试验结果表明：测试传感器的灵敏度为0.126μV/gn,工作频带为21.46 kHz,工作频带的动态重复性为3.9%,能够满足实际的测试需求,为实现单芯片集成三独立质量块结构的三轴加速度传感器提供了参考依据。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石云波	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	108	610	14.0	20.0
5	唐军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	64	114	5.0	9.0
9	周智君	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	3	22	2.0	3.0
13	丁宇凯	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	2	11	1.0	2.0