集成电路装备集成化研发平台

• 作者: 武园浩 田凌
• 来源期刊: 计算机集成制造系统
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路装备 集成平台 服务 数据空间 知识描述
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 产品创新开发技术
• 页码范围: 2123-2130
• 页数: 8页
• 分类号: TP391.7|TP29
• 字数: 8427字
• 语种: 中文

摘要

针对集成电路装备研发中的数据集成、应用集成与知识集成问题,设计了集成电路装备集成化研发平台.该平台遵循一切皆为服务的设计原则,使用服务构建应用系统,对产品数据的访问也被封装为统一的数据访问服务供外界调用.给出了集成电路装备集成化产品组件数据视图,并融合数据空间技术完成了异构数据的形式化数据资源建模.给出了基于本体的知识项统一描述方式,在此基础上实现了基于知识推送的知识应用模式.介绍了自主开发的集成电路装备集成化研发平台,并结合PECVD设备中喷淋头的设计,验证了平台的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田凌	清华大学精密仪器与机械学系	76	1094	17.0	30.0
2	武园浩	清华大学精密仪器与机械学系	8	8	2.0	2.0