腐蚀时间对多晶硅表面绒面影响研究

• 作者: 张发云
• 来源期刊: 电源技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 酸腐蚀 绒面 腐蚀时间 形貌
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 1959-1961
• 页数: 3页
• 分类号: TM914.4
• 字数: 2497字
• 语种: 中文

摘要

研究了不同腐蚀时间下多晶硅绒面微观结构的演变规律,检测了其太阳电池电性能参数.研究表明:与110和170 s相比,当腐蚀时间为135S时,腐蚀深度适中,反射率约16.5％,属正常腐蚀;虽然腐蚀时间为170 s时,腐蚀深度较深,反射率较低(约14.6％),但从太阳电池电性能来说,腐蚀时间为135 s的太阳电池电性能参数为最优,其转换效率可达16.3％.另外,多晶硅绒面制备过程中,随着腐蚀时间延长,硅片表面微观结构的演变规律为:表面少量微裂纹→浅状气泡状凹坑→均匀性较好的绒面→形成大量小孔和“断裂带”.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张发云	新余学院新能源科学与工程学院	26	105	5.0	9.0