中频波面的旋转平移法干涉绝对检验

• 作者: 张聪旸 成金龙 朱波 袁群 高志山
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 干涉术 绝对检验 波纹度 旋转 平移
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 652-663
• 页数: 12页
• 分类号: O436.1
• 字数: 6521字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132103.0652

摘要

基于Zernike多项式拟合的传统干涉绝对检验方法由于平滑了波面和丢失了中频成分,仅可以实现面形误差的绝对检验.本文提出利用旋转平移法来实现中频波面的干涉绝对检验.将被测波面分解成旋转对称成分和旋转非对称成分,通过N次旋转被测件,求解波面中的旋转非对称成分;通过平移被测件实现伪剪切,求解波面中的旋转对称成分.与传统绝对检验方法相比,该方法既能够恢复整个波面,又不需要对整个波面进行Zernike多项式拟合;由于仅对旋转对称成分用偶次多项式进行提取,提升了计算速度,降低了拟合误差,保留了中频成分,数值仿真显示其比传统方法优越,测量精度可达到1 nm rms.在ZYGO干涉仪上完成了平面元件的干涉绝对检验测量.采用改变伪剪切比和更换标准镜两种方案,分别实现了实验数据的自比对;将测试结果与经典三面互检法得到的水平和垂直方向的一维轮廓数据进行比对,验证了旋转平移法的准确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高志山	南京理工大学电子工程与光电技术学院	71	465	12.0	18.0
2	袁群	南京理工大学电子工程与光电技术学院	19	28	4.0	4.0
3	张聪旸	南京理工大学电子工程与光电技术学院	3	13	2.0	3.0
4	成金龙	南京理工大学电子工程与光电技术学院	1	8	1.0	1.0
5	朱波	南京理工大学电子工程与光电技术学院	2	15	2.0	2.0