超精密机床气浮导轨的气体润滑研究*

• 作者: 周欢伟
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: 气体润滑 气浮导轨 超精密机床 刚度
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 企业论坛
• 页码范围: 109-112
• 页数: 4页
• 分类号: TH117.2
• 字数: 2875字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2013.08.023

摘要

在用超精密机床加工V沟槽等微结构时，气浮导轨是保证超精密加工精度和表面光洁度的关键部件之一。介绍气浮导轨结构及润滑方式的选择，对其拓扑结构进行设计，研究影响承载能力、刚度的因素，建立气体静态数学模型，在雷诺方程和达西定律等理论基础上，建立一维和三维润滑数学模型。从温度、气压、地基等方面综合考虑了V沟槽超精密加工机床气浮导轨的设计，可确保气浮导轨良好的润滑性能，从而确保机床良好的加工精度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周欢伟		33	39	3.0	4.0