原子层沉积法生长ZnO的性质与前驱体源量的关系研究*

• 作者: 卢维尔 叶甜春 夏洋 张祥 张阳 李超波 董亚斌 饶志鹏
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 氧化锌 原子层沉积 Zn/O
• 年，卷（期）: 2013,（14）
• 页码范围: 419-427
• 页数: 9页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.147306

摘要

介绍了新型材料ZnO的各项性能，并采用原子层沉积方法制备新型材料ZnO.实验中采用二乙基锌(DEZn)和水作为生长ZnO的前驱体源，在蓝宝石衬底上生长ZnO；采用氮气作为载气，生长温度为180?C.通过改变在实验中的通入锌源的时间，探索不同的DEZn的源的量对薄膜的成分(Zn/O)、薄膜的厚度、生长速率、晶型、表面形貌、三维形貌以及粗糙度的影响.