超短激光抛光微加工的数学建模与实验研究

• 作者: 徐刚 戴玉堂 肖翔
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 157 nm激光抛光 表面粗糙度 数学模型
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 030激光加工与应用
• 页码范围: 162-166
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201340.0603003

摘要

157 nm是对硬脆材料进行激光表面微加工的理想波段.构建数学模型以探讨激光抛光材料时工艺参数对表面粗糙度Ra的影响,使用最小二乘法推导出粗糙度的计算式.利用157 nm激光对GaN外延片进行了抛光微加工的基础实验.通过比较多组模拟与实验粗糙度值,发现理论粗糙度值与实际的测量值之间有一定误差,但相对误差都在15％以下,最小的相对误差为4％.以低于15 Hz的脉冲频率和高于0.7 mm/min的扫描速度进行激光扫描刻蚀时,可以获得较低的表面粗糙度.数学模型合理地解释了抛光后底面沟壑的形成,为今后改善加工质量提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴玉堂		40	174	7.0	12.0
2	徐刚		30	71	6.0	8.0
3	肖翔		6	7	1.0	2.0