用于高效硅太阳电池的原子层沉积Al2O3表面钝化特性研究

• 作者: 刘新宇 孙昀 孟彦龙 王仕建 贾锐 金智
• 来源期刊: 太阳能
• 关键词: Al2O3 ALD 硅表面钝化 少数载流子有效寿命 高效硅太阳电池
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 技术产品与工程
• 页码范围: 38-40
• 页数: 3页
• 字数: 1373字
• 语种: 中文

摘要

系统研究了采用热-原子层沉积技术生长的Al2O3对p型晶体硅的表面钝化特性.Al2O3膜层的钝化质量通过采用微波光电导衰减的方法证明Al2O3介质层可提供优异的表面钝化效果.此外,通过采用C-V技术和椭圆偏振光谱测试技术对Al2O3介质层的表征证明,除了薄膜层中的负固定电荷,Al2O3介质层的H的含量在钝化效果中起着关键作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾锐	中国科学院微电子研究所	29	160	6.0	11.0
2	刘新宇	中国科学院微电子研究所	141	717	13.0	18.0
3	金智	中国科学院微电子研究所	30	92	5.0	8.0
4	孙昀	中国科学院微电子研究所	3	5	1.0	2.0
5	孟彦龙	中国科学院微电子研究所	7	24	3.0	4.0
6	王仕建	中国科学院微电子研究所	2	4	1.0	2.0