基于线扫描相位差分成像的光学元件激光损伤快速检测技术

• 作者: 姜有恩 李学春 范星诺
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 激光损伤检测 线扫描成像 相位差分法 暗场照明
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 191-195
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201340.0908005

摘要

将暗场照明应用到线扫描成像中,提出了一种用于光学元件激光损伤的检测技术.该技术基于相位差分原理,只对引起相位变化的激光损伤区域有响应,因此检测图像具有高对比度.分析了该技术的原理,并从实验上验证了该检测技术的特性.实验研究表明该技术能够获得高对比度和高分辨率的激光损伤图像,且具有快速检测大口径光学元件激光损伤的能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李学春	中国科学院上海光学精密机械研究所	40	182	9.0	12.0
2	姜有恩	中国科学院上海光学精密机械研究所	9	5	2.0	2.0
3	范星诺	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0