一种降低硅片方块电阻方差的通过式扩散方法

• 作者: 肖乐 郑荣豪 陆利新
• 来源期刊: 机械制造
• 学科: 工学
• 关键词: 通过式 方块电阻 方差
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 研究·开发
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TM914.4+1
• 字数: 3036字
• 语种: 中文

摘要

为消除方块电阻不均匀性对太阳能电池板性能的影响,提出了一种通过式扩散方法.首先,设计了扩散炉结构,定义了通过式扩散方法的扩散步骤,并建立了方块电阻和扩散时间、扩散温度以及气体流量的关系的数学模型.其次,采用抽样统计方法,通过建立数学模型,计算各测试点的方块电阻及其方差,验证了该方法的有效性,为扩散工艺的改善提供借鉴.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑荣豪	上海大学机电工程与自动化学院	4	4	1.0	1.0
2	陆利新	上海大学机电工程与自动化学院	11	34	3.0	5.0
3	肖乐	上海大学机电工程与自动化学院	3	3	1.0	1.0