气体法掺硼制备双面金刚石电极的研究

• 作者: 卢文壮 周春 左敦稳 徐俊华 徐锋
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 双面金刚石 气体掺杂 电化学窗口
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 230-234
• 页数: 5页
• 分类号: O482.3
• 字数: 3221字
• 语种: 中文

摘要

本文根据制备双面电极所要的温度场流场需求,设计了一个悬挂式的沉积平台,以满足工业级金刚石电极的制备需要.利用B2H6气体掺杂的方法制备不同掺杂浓度的金刚石电极,用SEM、Raman、四探针电阻仪对掺杂金刚石膜进行了分析,同时对制成的电极做了电化学性能的测试.结果表明,在设计的平台上可以制备出高质量的金刚石薄膜,B掺杂对金刚石膜的成分结构影响比较大,随着掺杂浓度的提高,晶粒细化明显,掺杂浓度过高薄膜质量下降.电化学性能的检测表明,气体掺杂的效率比较明显,在2000 ～4000 ppm较低浓度下,电极已经表现出良好的电化学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢文壮	南京航空航天大学机电学院	94	520	12.0	17.0
2	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
3	徐锋	南京航空航天大学机电学院	85	541	13.0	18.0
4	徐俊华	南京航空航天大学机电学院	5	23	3.0	4.0
5	周春	南京航空航天大学机电学院	3	11	3.0	3.0