相移干涉测量中相移误差的自修正

• 作者: 夏伯才 张志华 赵智亮 郑万国 陈立华
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 相移干涉测量 相移量计算 相移误差 误差自修正
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1116-1121
• 页数: 6页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2256字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132105.1116

摘要

分析了相移干涉测量过程中相移误差产生的原因,研究了基于迭代最小二乘算法的相移误差修正法,实现了任意两幅干涉图间相对移相量的计算和自适应校正.基于光、机、电、算四系统,实现任意步长的3幅以上干涉图像的采集,用迭代最小二乘法计算任意两幅干涉图间的相对移相量,然后将其闭环反馈至硬件相移系统,自动修正相移步长为给定量的特征相移值,从而完成干涉仪相移误差的自修正.构建了相移误差自校正系统,通过实际干涉测量验证了算法的正确性和相移误差自修正系统的可行性.结果表明,自适应修正后相移量相对误差＜5％,面形RMS测量重复性＜λ/1 000,实现了高精度、高效率的相移误差自适应修正.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏伯才	中国工程物理研究院工学院	20	68	4.0	7.0
2	赵智亮		3	23	2.0	3.0
6	陈立华		3	23	2.0	3.0
7	张志华		1	21	1.0	1.0
8	郑万国		1	21	1.0	1.0