半导体制造中具有重入加工工艺的双臂组合设备的调度研究*

• 作者: 乔岩 付虎 伍乃骐
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 数学
• 关键词: 半导体制造 组合设备 Petri网 调度
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 制造业信息化
• 页码范围: 32-37
• 页数: 6页
• 分类号: O22
• 字数: 6356字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2013.09.009

摘要

解决带重入加工工艺的双臂组合设备的调度问题是非常困难的。如果采用交换策略调度该系统，系统将处于一个3-晶圆周期性调度过程。为改善系统的运行过程及降低生产周期，给出了基于2-晶圆周期性调度方法的调度算法。该算法由解析表达式组成。因此执行非常有效。通过对比3-晶圆和2-晶圆调度方法，可有效的判断两种调度方法的优劣。最后，实例验证该方法的可应用性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伍乃骐	广东工业大学机电工程学院	77	815	15.0	25.0
2	付虎	广东工业大学机电工程学院	1	4	1.0	1.0
3	乔岩	广东工业大学机电工程学院	3	7	2.0	2.0