GDMS法和ICP-MS法测定太阳能级多晶硅中杂质元素含量

• 作者: 刘红 刘英 张金娥 李爱嫦 李继东 童坚 臧慕文
• 来源期刊: 分析试验室
• 学科: 化学
• 关键词: 太阳能级多晶硅 辉光放电质谱法 电感耦合等离子体质谱法 杂质元素
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 研究报告与研究简报
• 页码范围: 59-62
• 页数: 4页
• 分类号: O657.3
• 语种: 中文

摘要

采用辉光放电质谱法(GD-MS)测定太阳能级多晶硅中B,P,Fe,Co,Ni,Cu,Zn等痕量杂质元素,并优化和选择了GD-MS工作参数.考察了在半定量分析的情况下,GD-MS测定痕量杂质的精密度.结果表明,GD-MS对B,P,Na,A1,K,Ca,Fe,Ni,Cu,Co,Zn等元素测定结果的RSD都小于30％.用ICP-MS法进行验证,检出限0.14 ～2.85 ng/mL,RSD为1.6％ ～ 12％,加标回收率85.2％～125％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘英		48	250	9.0	12.0
2	李爱嫦		3	8	1.0	2.0
3	刘红		5	13	2.0	3.0
4	童坚		31	180	8.0	10.0
5	李继东		30	270	11.0	15.0
6	臧慕文		33	259	8.0	15.0
7	张金娥		2	3	1.0	1.0