原子层沉积方法制备核-壳型纳米材料研究

• 作者: 刘邦武 夏洋 李勇 李惠琪
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 原子层沉积 核-壳型纳米材料 碳黑纳米颗粒
• 年，卷（期）: 2013,（19）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 498-504
• 页数: 7页
• 字数: 3269字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.198102

摘要

采用原子层沉积方法在碳黑纳米颗粒表面分别沉积Al2 O3, ZnO, TiO2和Pt,成功制备出核-壳型纳米材料。通过高分辨率透射电子显微镜、X射线光电子能谱仪、能谱仪对材料的表面形貌、晶体结构、薄膜成分进行了表征和分析。结果表明,原子层沉积方法是制备核壳型纳米材料的理想方法。此外,还分析了采用原子层沉积方法沉积不同材料,所生长的薄膜材料有单晶、多晶、非晶等多种存在形式的形成原因。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李惠琪	山东科技大学材料科学与工程学院	80	728	15.0	23.0
2	李勇	山东科技大学材料科学与工程学院	225	3185	28.0	48.0
4	夏洋	中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室	67	325	9.0	14.0
7	刘邦武	中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室	17	96	6.0	8.0