等离子喷涂介质层提升臭氧发生器性能的试验研究

• 作者: 杨学昌 陈波 陶顺忠
• 来源期刊: 高电压技术
• 关键词: 等离子喷涂 臭氧发生器 介质阻挡放电 Lissajous图 氧化铝 氧化钛 陶瓷
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 非平衡等离子体及其应用专题
• 页码范围: 1703-1709
• 页数: 7页
• 字数: 5011字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-6520.2013.07.025

摘要

为了结合陶瓷的性能优势和搪瓷的工艺优势,利用先进的等离子喷涂工艺制备了臭氧发生器介质涂层.对涂层进行了微观结构分析和介电性能测试,并设计制作了管式臭氧发生器样机,研究了不同涂层对臭氧产生性能的影响.研究结果显示等离子喷涂涂层满足臭氧发生器的设计要求,且可以获得更高的相对介电常数εr,其中氧化铝(Al2O3)加氧化钛(TiO2)的双涂层方案具有最佳的臭氧生成性能.等离子喷涂工艺具有很强的灵活性,可替代玻璃和搪瓷成为臭氧发生器新的介质层负载工艺,具有良好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈波	清华大学电机工程与应用电子技术系	25	164	8.0	12.0
2	杨学昌	清华大学电机工程与应用电子技术系	38	885	19.0	29.0
3	陶顺忠		1	8	1.0	1.0