基于规则的批处理设备调度方法在半导体晶圆制造系统中应用

• 作者: 姚世清 李友 李娜 李程 江志斌 耿娜 贾文友
• 来源期刊: 上海交通大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体晶圆制造系统 批处理 瓶颈 调度
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 230-235
• 分类号: TP391.9
• 语种: 中文

摘要

针对半导体炉管区瓶颈设备的批处理调度问题,提出满足工艺约束和设备限制的组批调度算法.在考虑产品动态到达的基础上,根据半导体制造系统大规模、多重入、混合型生产等特征,针对晶圆平均等待时间进行优化,实现多产品、多机台的实时组合派工.仿真实验在一个虚拟的晶圆制造系统上进行.结果表明,该算法在实时派工中对瓶颈设备填充率和利用率显著提升,有效地缩短了产品加工周期.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李娜	上海交通大学机械与动力工程学院	93	620	12.0	21.0
2	贾文友	上海交通大学机械与动力工程学院	5	24	3.0	4.0
3	江志斌	上海交通大学机械与动力工程学院	161	2126	22.0	39.0
4	耿娜	上海交通大学机械与动力工程学院	38	166	8.0	11.0
5	李友	上海交通大学机械与动力工程学院	4	28	3.0	4.0
6	李程	上海交通大学机械与动力工程学院	6	41	4.0	6.0
7	姚世清	上海交通大学机械与动力工程学院	2	9	1.0	2.0