垂直梳齿驱动的大尺寸MOEMS扫描镜

• 作者: 刘英明 吴亚明 徐静 翟雷应 钟少龙
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微光机电系统(MOEMS) 扫描微镜 垂直梳齿驱动器 体硅工艺
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 400-407
• 页数: 8页
• 分类号: TH703
• 字数: 3329字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132102.0400

摘要

提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统(MOEMS)扫描镜.理论分析了垂直梳齿驱动器的工作原理,研究了垂直梳齿的制作工艺,采用体硅加工工艺结合硅-硅键合工艺制作了垂直梳齿驱动的MOEMS扫描镜.制作的扫描镜镜面尺寸为3 mm×2 mm,谐振频率为1.32 kHz.测试表明,该扫描镜镜面具有很好的光学表面,其表面粗糙度的均方根只有8.64 nm；扫描镜在驱动电压为95 V时可以实现最大2.4°的扭转角度；测得其开启时的响应时间为1.887 ms,关断时的响应时间为4.418 ms.