基于动态模糊系统模型的压电陶瓷驱动器控制

• 作者: 李朋志 杨怀江 苏志德 葛川 闫丰 隋永新
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷驱动器(PZT) 迟滞 动态模糊系统 前馈 轨迹跟踪
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 394-399
• 页数: 6页
• 分类号: TP273.1|TN384
• 字数: 3145字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132102.0394

摘要

针对压电陶瓷驱动器(PZT)的迟滞非线性对周期性超精密跟踪精度的影响,对基于Takagi-Sugeno(T-S)型模糊规则的动态模糊系统(DFS)前馈+PI控制方法进行了研究.介绍了DFS模型前提部分和结论部分的辨识方法；结合直接逆模型控制和迭代学习控制的思想,提出了周期性轨迹跟踪的DFS前馈+PI控制方法.最后,针对20 Hz的三角波和正弦波期望轨迹进行了跟踪控制实验.实验结果表明:提出的控制方法对三角波和正弦波期望轨迹的最大跟踪误差分别为0.25％和0.27％,相对于PI控制,跟踪精度分别提高了52倍和64倍,而最大跟踪绝对误差分别降低到5.1 nm和5.5 nm.结果显示这种控制方法易于实现,周期性轨迹跟踪精度高.