硅基外延SrRuO3/PbZr0.5Ti0.5O3/SrRuO3电容器的结构和性能研究

• 作者: 代秀红 刘保亭 周阳 朱慧娟 郭建新
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅衬底 外延生长 SrRuO3/PbZr0.5Ti0.5O3/SrRuO3异质结
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 页码范围: 428-431,451
• 页数: 5页
• 分类号: TM53
• 字数: 2727字
• 语种: 中文

摘要

传统的方法很难直接在硅衬底上制备外延的氧化物铁电电容器,本实验采用生长在硅衬底上的外延SrTiO3为模板,直接生长了SrRuO3/PbZr0.5Ti0.5O3/SrRuO3电容器异质结,并对其结构及性能进行了研究.X射线衍射表明所制备的SrRuO3/PbZr0.5Ti0.5O3/SrRuO3异质结实现了在硅衬底上的外延生长.在5V测试电压下,铁电电容器的剩余极化强度和矫顽电压分别为19.6μC/cm2和0.8V.当极化翻转次数达到1010时,铁电电容器的极化强度没有明显的衰减,表明SrRuO3/PbZr0.5Ti0.5O3/SrRuO3电容器具有良好的抗疲劳性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘保亭	河北大学物理科学与技术学院	84	302	10.0	13.0
2	周阳	河北大学物理科学与技术学院	21	130	7.0	11.0
3	代秀红	河北大学物理科学与技术学院	28	22	3.0	3.0
4	郭建新	河北大学物理科学与技术学院	23	88	4.0	8.0
5	朱慧娟	河北大学物理科学与技术学院	4	7	1.0	2.0