醇热反应低温合成锰钴镍热敏薄膜

• 作者: 徐金宝 熊信谦 王磊 边亮 陈雪颖 高博
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 醇热反应 锰钴镍薄膜 热敏电阻 低温合成
• 年，卷（期）: 2013,（19）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 511-516
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.198104

摘要

锰钴镍复合氧化物是一种具有半导体性质的热敏材料.本文采用金属有机沉积技术于室温条件下、在Si衬底上沉积一定厚度的Mn1.74Co0.72Ni0.54O4金属有机化合物薄膜，并通过醇热反应进行低温结晶化合成，可得到Mn1.74Co0.72Ni0.54O4结晶薄膜.通过X射线衍射、场发射扫描电子显微镜(FESEM)以及阻温特性等测试方法表征，讨论了醇热反应对锰钴镍热敏薄膜的物相结构、微观形貌以及电学性能的影响.X射线衍射图显示薄膜已出现尖晶石结构的特征峰.电镜照片说明结晶薄膜的表面较为平整、孔隙率低.阻温特性关系表明薄膜具有明显的负温度系数效应，室温(≈27?)电阻率约为303.13?·cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王磊	中国科学院新疆理化技术研究所	346	2763	24.0	41.0
5	边亮	中国科学院新疆理化技术研究所	2	30	1.0	2.0
6	陈雪颖	中国科学院新疆理化技术研究所	1	0	0.0	0.0
10	徐金宝	中国科学院新疆理化技术研究所	1	0	0.0	0.0
11	熊信谦	中国科学院新疆理化技术研究所	1	0	0.0	0.0