大气压射频辉光放电阻抗特性的实验研究

• 作者: 包成玉 李和平 焉迪 王志斌 葛楠 金锋
• 来源期刊: 高电压技术
• 关键词: 大气压等离子体 射频辉光放电 等效阻抗 电路模型 电子数密度 阻抗匹配
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 非平衡等离子体及其应用专题
• 页码范围: 1596-1601
• 页数: 6页
• 字数: 4443字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-6520.2013.07.008

摘要

为研究大气压射频辉光放电过程中不同工作气体(氦气和氩气)对发生器等效阻抗的影响,基于等离子体的介电特性,建立了描述等离子体区域的“电阻-电容混联”等效电路模型;通过实验测量放电电压及电流,并基于等效电路模型来计算等离子体在放电过程中的电子数密度,从而得到等离子体发生器的等效阻抗.实验测量了大气压射频辉光放电的放电电压及电流,并基于等效电路模型得到了等离子体发生器的等效阻抗及放电区的电子数密度.实验结果表明:对氦气和氩气放电,在α放电模式下其电阻及电抗的绝对值均随着放电电流的增加而减小,而电子数密度则随放电电流的增大而线性增加;且在相同的放电电流条件下,氩等离子体的电阻和电容都比氦等离子体高.研究结论可作为等离子体在不同工作气体条件下放电阻抗匹配研究的参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李和平	清华大学工程物理系	33	377	10.0	19.0
2	包成玉	清华大学工程物理系	29	244	7.0	15.0
3	金锋	北京理工大学自动化学院	15	258	10.0	15.0
4	葛楠	清华大学工程物理系	9	163	4.0	9.0
5	王志斌	清华大学工程物理系	5	49	3.0	5.0
6	焉迪	北京理工大学自动化学院	1	16	1.0	1.0