基于原子力显微镜的金刚石刀具锋利度检测装置研制

• 作者: 刘兴宝 张晓峰 杜文浩 王宝瑞
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 全刃口锋利度 空气轴承 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 仪器仪表/检测/监控
• 页码范围: 106-109,140
• 页数: 5页
• 分类号: TG806
• 字数: 2325字
• 语种: 中文

摘要

有效评价圆弧刃金刚石刀具锋利度的关键是如何准确获取刃口形貌信息，基于此建立了以原子力显微镜（ Atomic Force Microscopy，AFM）和精密气浮主轴为核心部件的测量系统。为了评价系统的测量可靠性，对气浮主轴的回转误差进行了测试；对安装回转轴系后的AFM噪声和定位精度进行了测试，结果表明系统的静态噪声值约为5nm，主轴具有较高的定位精度。最后应用测量系统进行了圆弧刃金刚石刀具全刃口锋利度测量实验，首次从整体轮廓上对圆弧刃金刚石刀具的锋利度作出了评价，具有一定的实际意义，为金刚石刀具质量评价提供了参考。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王宝瑞	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	41	168	7.0	10.0
2	刘兴宝	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	11	62	4.0	7.0
3	张晓峰	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	10	27	3.0	4.0
4	杜文浩	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	8	27	3.0	4.0