微机械陀螺仪设计与研究

• 作者: 卢翌 李凌宇 许高斌 陈兴
• 来源期刊: 电子科技
• 学科: 工学
• 关键词: 微系统 陀螺仪 结构特点 关键技术
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 专题综述
• 页码范围: 172-176
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 3768字
• 语种: 中文

摘要

介绍了微机械陀螺仪的关键技术、种类、性能比较和不同应用领域对其性能参数的要求.总结了近几年国内外微机械陀螺仪结构的研究最新成果.对框架式、音叉式、振动轮式、振动环式、转子悬浮式、质量块式和双线振动式等微机械陀螺仪的结构、加工和性能等进行了分析比较.主要阐述了微机械陀螺仪的漂移误差、精度和封装技术3大研究难点和高精度、微加工维度、结构和电路优化、单片多自由度和单片集成化等研究发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈兴	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	21	120	7.0	10.0
2	许高斌	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	22	140	7.0	11.0
3	卢翌	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	4	31	3.0	4.0
4	李凌宇	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	1	17	1.0	1.0