超声喷雾热解法制备稀磁掺杂ZnO薄膜的研究

• 作者: 刘晟杰 张灿云 徐家跃 曲红旭 王礼慧
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 超声喷雾热解法 稀磁掺杂 p型ZnO薄膜
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 页码范围: 659-663
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 4087字
• 语种: 中文

摘要

近年来,基于ZnO稀磁半导体在自旋电子器件方面的潜在应用价值,过渡金属掺杂的ZnO材料被广泛研究.但由于p型ZnO材料的制备非常困难,获得具有室温以上居里温度的Mn掺杂p型ZnO基稀磁半导体仍然是个难题.在N-In共掺杂成功实现ZnO薄膜p型掺杂的前期研究基础上,本研究采用超声喷雾热解(USP)法在Si基底上制备了Zn1-x,MnxO系列薄膜样品.X射线衍射表明所有ZnO薄膜样品都具有纤锌矿结构,没有发现其他物相的衍射峰存在.薄膜形貌研究发现,样品中的颗粒分布均匀.磁性测量表明N-Mn-In掺杂的样品显示出室温铁磁性.对N-Mn共掺杂和N-Mn-In掺杂的样品进行热处理后,发现薄膜的铁磁性能与薄膜中的空穴载流子具有直接的关联,这一现象与Mn掺杂的p型ZnO会显示室温铁磁性的理论预测是一致的,并用束缚磁性极化子模型解释了ZnO薄膜的铁磁性来源.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐家跃	上海应用技术学院理学院	87	198	6.0	9.0
2	张灿云	上海应用技术学院理学院	9	16	3.0	3.0
3	王礼慧	上海应用技术学院理学院	1	3	1.0	1.0
4	曲红旭	上海应用技术学院理学院	1	3	1.0	1.0
5	刘晟杰	上海应用技术学院理学院	1	3	1.0	1.0