扫描电镜样品的制备技术

• 作者: 夏芳敏 孔梅梅 张立永 林中山 王醒东
• 来源期刊: 广州化工
• 学科: 化学
• 关键词: 扫描电子显微镜 导电处理 离子束溅射 真空蒸发
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 46-47,67
• 页数: 3页
• 分类号: O657.32
• 字数: 2925字
• 语种: 中文

摘要

样品的预处理作为扫描电子显微镜观测前的必要工序,对观测结果的精确性和准确度有重要影响.本文论述了扫描电子显微镜样品预处理工艺的顺序,介绍了样品的安装方法,重点介绍了样品导电处理的方法,并对真空蒸发和溅射法工艺进行了简单归纳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王醒东		37	223	7.0	13.0
2	孔梅梅		5	103	4.0	5.0
3	张立永		26	150	6.0	12.0
4	夏芳敏		10	116	5.0	10.0
5	林中山		7	106	4.0	7.0