混合物理化学气相法(HPCVD)制备MgB2超导薄膜技术

• 作者: 傅兴华 周章渝 杨健 杨发顺 王松
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: MgB2超导薄膜 沉积温度 混合物理化学气相法(HPCVD)
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺·技术
• 页码范围: 893-896
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 2836字
• 语种: 中文

摘要

介绍了采用混合物理化学气相法(HPCVD)工艺以乙硼烷(B2H6)为硼源在热蒸发镀膜机内以不同的沉积温度在(0001)取向的Al2O3单晶基底上制备了MgB2超导薄膜,采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和标准四线法电阻测量分析了沉积温度对生成的MgB2薄膜的表面形貌、晶体结构、超导转变温度的影响.结果表明,随着基底温度的升高,MgB2相结晶程度提高,c轴取向程度增强,薄膜整体性能显著提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王松	贵州大学理学院	29	23	2.0	3.0
3	杨健	贵州大学理学院	23	35	4.0	5.0
5	杨发顺	贵州大学理学院	54	125	5.0	8.0
9	周章渝	贵州大学理学院	11	20	2.0	4.0