先进光学制造技术进展

• 作者: 王健 许乔 陈贤华 雷向阳 马平
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 先进光学制造 高功率激光 确定性抛光 表面缺陷
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 3098-3105
• 页数: 8页
• 分类号: TH74
• 字数: 4391字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132512.3098

摘要

针对高功率固体激光发展的需求,总结了先进光学制造技术方面的研究进展.采用超精密制造技术提高了非球面等元件的加工精度和制造效率,并为解决低缺陷加工提供了技术途径.围绕面形误差控制,特别是中频波前误差控制,发展了多种确定性抛光技术.针对熔石英元件建立了“去除-抑制”模型及新的抛光技术,有效抑制了亚表面缺陷的产生.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王健	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	29	117	6.0	10.0
2	陈贤华	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	14	83	5.0	9.0
3	许乔	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	10	87	6.0	9.0
4	马平	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	5	47	2.0	5.0
5	雷向阳	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	2	44	2.0	2.0