基于离子束抛光的KDP晶体表面嵌入铁粉清洗研究

• 作者: 关朝亮 冯殊瑞 周林 戴一帆 袁征 解旭辉
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: KDP晶体 磁流变抛光 离子束抛光 铁粉去除
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 页码范围: 582-586,597
• 页数: 6页
• 分类号: TH161
• 字数: 3019字
• 语种: 中文

摘要

磁流变抛光技术是实现KDP晶体超精密加工的新方法,但磁流变液中的铁粉容易嵌入质软的KDP晶体表面.本文提出了利用基于低能离子溅射原理的离子束抛光技术去除KDP表面嵌入的铁粉.利用红外拉曼光谱和白光干涉仪分别分析了低能离子束抛光前后KDP晶体表面物质结构变化和表面粗糙度的变化；结果显示,低能离子束溅射不改变KDP晶体表面的组成结构,并改善了KDP晶体表面质量,因此离子束抛光可用于KDP晶体的加工；利用飞行时间二次离子质谱分析技术分别对单点金刚石车削、磁流变抛光和低能离子束抛光后的KDP晶体表面进行元素分析,结果显示低能离子束抛光可有效去除磁流变抛光在KDP晶体表面嵌入的铁粉.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴一帆	国防科技大学机电工程与自动化学院	109	1657	23.0	33.0
2	关朝亮	国防科技大学机电工程与自动化学院	12	120	8.0	10.0
3	解旭辉	国防科技大学机电工程与自动化学院	44	582	14.0	22.0
4	周林	国防科技大学机电工程与自动化学院	32	408	12.0	19.0
5	袁征	国防科技大学机电工程与自动化学院	5	68	5.0	5.0
6	冯殊瑞	国防科技大学机电工程与自动化学院	1	17	1.0	1.0