中微MOCVD设备技术性突破备受LED业界青睐

• 来源期刊: 中国照明
• 学科: 工学
• 关键词: MOCVD设备 高亮度LED 设备技术 半导体设备 大规模生产 获奖产品 工业博览会 外延工艺
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 页码范围: 89-89
• 页数: 1页
• 分类号: TM923

摘要

日前，中微半导体设备有限公司（简称“中微”）的MOCVD设备PrismoD—BlueTM于第十五届中国国际工业博览会（简称“工博会”）上荣获银奖。该产品于今年3月正式发布，是此次获奖产品中唯一代表半导体外延工艺的MOCVD设备，该产品技术对于高亮度LED的大规模生产至关重要。作为生产LED芯片的关键设备，