溅射时间对硼掺杂ZnO薄膜性能的影响

• 作者: 付蕊 化麒麟 杨培志 杨雯
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO∶B薄膜 溅射时间 光电特性 透光率
• 年，卷（期）: 2013,（18）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 16-18,22
• 页数: 4页
• 分类号: TB34
• 字数: 2169字
• 语种: 中文

摘要

采用脉冲磁控溅射系统在玻璃衬底上制备了硼掺杂氧化锌(ZnO∶B)薄膜,利用X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜、紫外-可见光-近红外分光光度计和四探针测试仪研究了溅射时间与薄膜的结构、光学和电学特性的关系.结果表明:ZnO∶B是多晶薄膜,具有六方钎锌矿结构且呈c轴择优取向,其透明导电性能优良,在可见光谱范围的平均透先率超过80％,薄膜电阻率随溅射时间延长而降低至3.0×10-3 Ω·cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨培志	云南师范大学太阳能研究所可再生能源材料先进技术与制备教育部重点实验室	42	68	5.0	6.0
2	杨雯	云南师范大学太阳能研究所可再生能源材料先进技术与制备教育部重点实验室	12	14	2.0	3.0
3	付蕊	云南师范大学太阳能研究所可再生能源材料先进技术与制备教育部重点实验室	5	20	3.0	4.0
4	化麒麟	云南师范大学太阳能研究所可再生能源材料先进技术与制备教育部重点实验室	6	21	3.0	4.0